哈尔滨工业大学招标采购办公室受用户的委托，拟就哈工大软X射线激光头及配套件加

工与制作项目进行国内招标生产加工。欢迎具有此项生产能力，资信良好的国内制造商前来

报名。

一、项目名称：哈工大软X射线激光头及配套件加工与制作项目

二、生产加工内容及技术要求：

1、主体及配套件包括：

毛细管放电室腔体、配气系统、充气室及真空室、真空获得和测量等装置。

2、主要技术指标

（1）毛细管放电室腔体(长度≥0.5m，直径约0.5m)为衔接俄制装置和充气室的，两端带接口法兰的圆桶状结构。放电室要求对气体密封。接口法兰尺寸和腔体上的其他法兰尺寸由哈工大确定，供货方设计制造。

（2）配气系统可实现单路、双路或三路同时进气，流量可设定控制。控制气压范围0.1-0.5Mpa，重复精度1%，控制精度±1.5%。

（3）充气室为衔接毛细管放电室和真空室部分。配气系统与充气室相连，实现对充气室充气。充气时充气室与真空室之间采用小孔差分。充气室与毛细管放电室要求绝缘密封。

（4）真空室为长1000mm，宽600mm，高600mm的一个长方形腔体。真空室上盖可电动开启，内底部配500×900mm的光学平台。真空室四个侧面有16个法兰接口。真空室部分除配有必要的接口及预留电极，再配3万伏高压电极1个。部分规格的法兰口各配两套三维可调转接装置。真空室极限真空3×10^-4Pa。

（5）真空获得采用两套分子泵和干泵来获得高真空。真空测量用数显复合高真空计，可测量充气室充气气压（测量范围0.1-100Pa，测量精度1%）和靶室的真空度。

3、系统的原理见示意图，供货方负责相关配套件的设计、加工和制作。

三、制造商准入资格

 符合“政府采购法”第二十二条的规定。

四、报名方法及具体要求

在2007年11月30日前将单位的资质文件发至邮箱：Fangch@hit.edu.cn。并同时电话报名，我们根据具体报名情况，确定招标方案及招标时间。

招标联系人：房崇辉　　联系电话（传真）:0451-86417955

技术联系人：赵永蓬　　联系电话:0451-86412643

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