哈尔滨工业大学招标采购办公室受用户的委托，拟就哈工大晶体生长系统主体设备加工研制项目进行国内公开招标。欢迎具有此项加工研制能力、资信良好的境内的加工制造商商前来投标。

一、项目名称：哈工大晶体生长系统主体设备加工研制项目

二、招标编号：HITZB-303

三、招标内容：

(一)  单晶炉主体设备的结构(见附图:现场答疑提供)

    单晶炉主体设备是由真空系统、电源控制系统、炉体、支架、备用电源系统组成。

(二)  单晶炉主体设备的技术要求

1.真空系统的技术要求

采用机械泵和扩散泵组成的二级泵系统，机械泵选用上海真空设备厂的旋片泵2XD-16型，采用沈阳中科仪厂生产的YK-250型油扩散泵，管道采用全不锈钢制造，按图纸要求选择各级阀门、冷阱，真空度检测器主控模块：MSP430F149，复合真空计：ZDF ―Ⅲ— LED 型电阻、电离复合真空计，控制继电器：控制复合真空计的工作。

要求：真空度要求低于1.0×10-3Pa，抽空时间不大于1.5小时。

2.电源及控制系统的技术要求

采用分布式现场总线结构，由一台主机和多台下位机构成。主机提供人机界面、采集下位机数据、发送控制参数标准值，不直接参与控制。每台下位机控制一个相对独立的子系统或功能模块，不同的子系统或功能模块间没有直接的联系，可以独立工作全部工艺参数都显示在主机的CRT上，可通过主机键盘改变各下位机的控制参量。个别需要近距离手动操作的参量，设有操作旋钮和数显面板表，便于就近操作和观察。系统框图（见招标文件）。

    (1) 整机实现高可靠性长时间工作；

(2) 以功率或电压为标准实现高精度加热功率调节控制（0.02%）；

(3) 次级电流、电压实现高精度检测（0.02%）；

(4) 拉晶杆升降位移实现高精度检测、控制（1um）；

(5) 晶体重量变化实现高精度检测（0.02%）。

(三) 各子系统指标见招标文件

四、供应商准入资格

    (1) 具有在境内的独立法人资格以及相关资质证明文件；

(2) 具备政府采购第二十二条的条件；

(3) 具有ISO9001或TS16949质量认证体系；

(4) 有相关单晶炉研制的案例。

五、现场答疑及招标文件发售时间和地点

1．答疑时间：2008年6月9日14.00时；地点：哈工大科学院A栋319室

参加答疑的视为有效投标商，投标商满足三家开标时间定于答辩后第十天开标（2008年6月19日上午9:00时）

如不满足三家本次招标自动取消

2．发售时间：2008年6月10日到投标截止时间，每日9:00—16:00(节假日除外)。

3．发售地点：哈尔滨工业大学招标采购办公室行政楼207室（哈尔滨市南岗区西大直街92号）。邮政编码：150001

4．招标文件的售价：500元，不是招标方因素，文件售后不退。

五、投标截至日期及地点：

截至日期：2008年6月19日上午8:30时，投标地点：同发售地。

六、开标时间和地点：

开标时间：2008年6月19日上午9:00时。

开标地点：哈尔滨工业大学行政楼114会议室。

招标联系人：房崇辉　　联系电话（传真）：0451－86417955

技术负责人：张宇民    联系电话：0451-86412236；13946149476

哈尔滨工业大学招标采购办公室　

2008年6月2日