应哈工大仪器学院超精密所谭久彬院士、胡鹏程教授和杨睿韬副研究员邀请，国际顶级激光干涉测量专家、比利时鲁汶大学（KU Leuven）Han Haitjema教授，将为我校师生带来精彩报告。
一、报告摘要
表面形貌测量广泛应用于微电子、芯片生产、医学发展等领域的研究和开发中。为了获得可靠和可溯源的测量结果，ISO 25178-600定义了一系列计量特性，并在后续标准ISO 25178-60x中对特定仪器类型进行进一步规定。标准ISO 25178-700提供了一些基本校准技术来确定这些特性。Han Haitjema教授将重点介绍在尺寸计量领域中提出的一些误差分离和冗余测量技术，这些技术可以很好地应用于表征表面形貌测量仪器的特性。他的报告重点将放在噪声特性分析和优于传统平均技术的噪声抑制方法上。此外，还将讨论平整度特性分析方法，适用于特殊条件的误差分离技术，以及在线性度和平面度测量中的专用误差分离技术潜在应用。
二、主讲人介绍
Haitjema教授于1989年在德国代尔夫特理工大学获得博士学位，研究方向为应用物理学。他曾任日本三丰Mitutoyo公司欧洲研究中心主任，与国际顶级半导体装备供应商合作紧密，任荷兰认证理事会RVA尺寸计量委员会主席、欧洲认证组织首席专家等重要职务，负责欧洲、日本和韩国的计量实验室认证。目前，他在比利时鲁汶大学担任教授。长期从事超精密激光干涉测量与校准测试技术研究，在国际顶级期刊发表学术论文90余篇。
三、时间地点
地点：科学园D栋412室
时间：2024年8月5日 9：00-11：00
